《生物传感器》第4章 电容式传感器 教学课件.pptx

第四章电容式传感器;电容传感器可以直接用于位移测量，间接用于运动及压力测量

位移测量范围在1μm—10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为2%。

变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达0.3μm。;式中C为电容量，?为极板间介质的介电常数，S为极板间相互覆盖面积，?0为真空的介电常数，d两极板间的距离，?r为介质的相对介电常数。?0=1/3.6?(PF/cm);单极式平行板电容器：;则;(3)根据灵敏度的公式，显然初始极距d越小，灵敏度越高。但是非线性误差会等大，存在矛盾。;（2）在测量电路中，并联一较大电容C0，即增大传感器的初始电容量