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基于CAN总线与以太网融合架构的低温等离子体设备测控系统的创新与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

低温等离子体作为物质的第四态，由大量带电粒子和中性粒子组成，呈现出独特的物理和化学性质。近年来，低温等离子体设备在众多领域得到了广泛应用，展现出巨大的潜力和优势。

在半导体制造领域，低温等离子体设备用于刻蚀、薄膜沉积等工艺，能够实现高精度的芯片制造，提高芯片性能和集成度。在生物医学领域，低温等离子体可用于医疗器械消毒、伤口愈合促进以及肿瘤治疗等。其非热效应能够在不损伤生物组织的前提下，有效杀灭细菌和病毒，促进细胞的生长和修复，为生物医学的发展提供了新的技术手段。在环保领域，低温等离子体设