铌酸锂晶圆内部脉理条纹检测方法编制说明.pdfVIP

电子行业标准送审资料

电子行业标准《铌酸锂晶圆内部脉理条纹检测方法》

（征求意见稿）编制说明

一、工作简况

该任务来源于《工业和信息化部办公厅关于印发2025年第四批行业标准制修

订计划的通知》（工信厅科函【2025】423号），由苏州匀晶光电技术公司主持

编写《光学级铌酸锂晶圆内部脉理条纹检测方法》行业标准（计划项目代号

2025-0841T-SJ），制订期为2025年11月～2026年10月。

本标准起草单位：苏州匀晶光电技术有限公司、南京大学、天通凯巨科技有

限公司、上海光机所、中电科技德清华莹电子有限公司、南开大学、福建福晶科

技股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、济南晶正电子科技有限公司、北

京世维通科技股份有限公司、匠岭科技（上海）有限公司。苏州匀晶光电技术有

限公司总体负责标准的制定与协调，并联合中国电子技术标准化研究院、南京大

学、中电科技德清华莹电子有限公司、天通凯巨负责各阶段标准文本及其相关资

料的起草、修改与完善。福晶科技、南开大学、上海光机所在标准的制定过程中，

提供了相关的研究内容与技术支持。

本文件编制任务下达后，标准起草单位成立了相应的标准编制组，成员由标

准编