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薄膜热电偶数据记录规范

薄膜热电偶数据记录规范

一、（1）薄膜热电偶传感器基础信息记录要求。在进行任何薄膜热电偶温度测量或标定实验之前，必须对所用薄膜热电偶的完整身份信息进行逐条登记，这是实现数据可追溯性的首要环节。记录内容应包含薄膜热电偶的制作批次编号、样品编号、制备工艺方法（如磁控溅射、丝网印刷、化学气相沉积等）、基底材料类型及尺寸（如氧化铝陶瓷基底、不锈钢基底、聚酰亚胺柔性基底的长×宽×厚具体数值）、热电偶材料体系（如Pt-PtRh10、NiCr-NiSi、Cu-Constantan、ITO基或新型纳米复合材料等）、名义膜层厚度及宽度（以纳米或微米为单位，应注明测量方式如台阶仪或SEM表征结果）、热端结点几何尺寸与形状（圆形、方形或十字交叉形及其特征尺寸）、引线连接方式（超声键合、导电银胶粘接或烧结钎焊）及所用引线材料规格。同时需记录该薄膜热电偶是否经过高温退火处理及退火温度与时间参数，因为退火工艺直接影响膜层晶粒生长和Seebeck系数稳定性。若薄膜热电偶曾进行过预标定，须附上标定证书编号、标定温区范围、标定日期及标定所用的标准器信息。所有上述信息应以元数据表单形式随原始数据文件一并存档，不允许仅以口头约定或实验笔记简写替代。当同一实验中使用多支薄膜热电偶时，须对每支分配唯一标识码（如TFTC-2026-A01、TFTC-2026-A02……），并在后续所有采集通道