CN119275139A 晶圆清洗、干燥装置及工艺 （北京华林嘉业科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119275139A

(43)申请公布日2025.01.07

(21)申请号202411794050.1

(22)申请日2024.12.09

(71)申请人北京华林嘉业科技有限公司

地址100176北京市大兴区北京市北京经

济技术开发区科创十三街18号院30号

楼1层101室

(72)发明人耿彪张伟耿超郭生钢王强

(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569

专利代理师王洋

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/677(2006.01)