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巯基-烯材料：解锁纳米压印聚合物模板制备的关键密码

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1纳米压印技术的重要性

在现代科技飞速发展的背景下，微纳加工技术成为众多领域实现创新突破的关键支撑。纳米压印技术作为微纳加工领域的重要一员，自问世以来便备受关注，其在半导体、光电子、生物医学等诸多前沿领域展现出了不可或缺的价值。

在半导体领域，随着摩尔定律的持续推进，芯片集成度不断攀升，对器件尺寸和加工精度提出了近乎严苛的要求。纳米压印技术凭借其超高分辨率的特性，能够实现极小线宽的图案制作，为半导体器件的进一步微型化和性能提升提供了可能。例如，在先进制程的芯片制造中，纳米压印技术可用于制造3纳米