CN119836336A 激光照射装置、激光照射方法、及半导体器件的制造方法 （Jsw阿克迪纳系统有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119836336A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202280099581.1

(22)申请日2022.11.29

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0439222022.11.29

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/116269JA2024.06.06

(71)申请人JSW阿克迪纳系统有限公司地址日本神奈川县

(72)发明人田中博也山口芳广小林直之

(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256

专利代理师马立荣沈静

(51)Int.Cl.

B23K26/08(2014.01)

权利要求书3页说明书10页附图8页

(54)发明名称

激光照射装置、激光照射方法、及半导体器

件的制造方法

(57)摘要

CN119836336A本实施方式所涉及的激光照射装置具有：激光光源(35)，其产生UV脉冲激光；旋转工作台(11)，其使半导体基板旋转；光学系统单元(30)，其将激光整形为在半导体基板(16a)上激光成为平顶分布，将激光向旋转工作台上的半导体基板(16a)引导；以及移动机构，其使光学系统单元(30)移动，以使激光(15)的照射位