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化学气相材料存储规范

化学气相材料存储规范

一、（1）化学气相材料系指在化学气相沉积、化学气相输运及气相外延等工艺过程中所使用的各类气态前驱体、反应气体、载气、掺杂气体及辅助工艺气体之总称，涵盖易燃气体（如硅烷、氢气、乙炔、甲烷）、助燃气体（如氧气、笑气即一氧化二氮）、剧毒或高毒气体（如砷烷、磷烷、锗烷、氯气、溴化氢、氯化氢）、腐蚀性气体（如三氟化氮、六氟化硫、三氯化硼、四氯化钛蒸气、氨气）、惰性及窒息性气体（如高纯氮气、氩气、氦气、氪气、氙气）以及各类电子级特种混合气体。本规范所称存储，包括上述气体在高压无缝钢瓶、集装格、管束式集装箱、低温液体储罐（液氮、液氩、液氧、液氢、液氦）、低温杜瓦瓶及与之配套的汇流排、气瓶柜、气瓶架等容器与设施中的静态存放行为。化学气相材料的存储必须严格遵循《危险化学品安全管理条例》《建筑设计防火规范》GB50016、《危险化学品仓库储存通则》GB15603—2022、《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》GB16912、《氢气使用安全技术规程》GB4962、《气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定》GB/T34525、《特种气体储存期规范》GB/T26571、《常用化学危险品贮存通则》GB17914及相关行业标准、地方法规的要求。所有参与化学气相材料存储、验收、巡检、出入库管理的单位与个人须接受专门安全培训并考核合格后方可上岗，剧毒化