CN119833374A 带电粒子束的机械干扰补偿系统和方法 （华为技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119833374A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202311332053.9

(22)申请日2023.10.13

(71)申请人华为技术有限公司

地址518129广东省深圳市龙岗区坂田华

为总部办公楼

(72)发明人张丹阳孔二帅刘启涛王慧郭合忠姚道宇

(74)专利代理机构北京龙双利达知识产权代理

有限公司11329

专利代理师王君肖鹂

(51)Int.Cl.

H01J37/147(2006.01)

H01J37/244(2006.01)

权利要求书1页说明书17页附图8页

(54)发明名称

带电粒子束的机械干扰补偿系统和方法

(57)摘要

CN119833374A本申请提供了一种带电粒子束的机械干扰补偿系统和方法，该系统包括：机械干扰信号获取装置，用于测量带电粒子束受到的机械干扰，得到机械干扰信号；信号补偿装置，用于根据所述机械干扰信号产生控制信号；场发生器，用于根据所述控制信号产生调制场，所述调制场作用在所述带电粒子束上以补偿所述机械干扰。本申请提供的机械干扰补偿系统能够补偿带电粒子束受到的机械干扰，提高带电粒子束设备的精

CN119833374A

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