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薄膜热电偶性能评估规程

薄膜热电偶性能评估规程

（1）薄膜热电偶的基本结构与工作原理。薄膜热电偶是一种基于塞贝克效应制成的温度传感器，其核心结构由两种不同的金属或半导体薄膜材料构成，通过物理气相沉积或化学气相沉积等方法在绝缘基底上形成热电极对。与传统的线状热电偶相比，薄膜热电偶的热接点尺寸可缩小至微米甚至纳米级别，从而显著降低热惯性，提高响应速度。在高温测量、瞬态温度监测以及微小空间内的温度传感场景中，薄膜热电偶展现出独特的优势。其工作原理在于，当热接点与被测对象接触并产生温度梯度时，冷端与热端之间会产生温差电动势，通过精确标定该电动势与温度的关系即可实现温度值的反演。然而，薄膜材料的