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薄膜热电偶质量控制标准

薄膜热电偶质量控制标准

一、原材料甄选与制备工艺参数控制在薄膜热电偶质量控制标准中的核心地位

在薄膜热电偶的质量控制体系中，原材料甄选与制备工艺参数的严格控制是决定最终产品热电性能一致性与可靠性的首要环节。薄膜热电偶通常由两种不同成分的金属或合金薄膜通过物理气相沉积、化学气相沉积、丝网印刷或溅射等方法沉积于绝缘基底上构成，其微观组织结构直接受原材料纯度和制备工艺影响，进而决定塞贝克系数、测温精度及长期稳定性，因此必须将原材料与制备工艺纳入质量控制的首要管控模块。（1）基体材料与靶材或浆料的质量控制要求。用于制备薄膜热电偶的绝缘基体材料主要包括氧化铝陶瓷、氮化铝陶