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超级电容器的制备工艺研究文献综述

1.1激光直写

在柔性电子加工领域，越来越多的研究使用激光图案化来制备各种金属微结构电子器件。激光直接写入技术利用激光束的光化学或热物理等作用，在柔性或硬性基板表面制作提前设计好的结构，最终得到目标器件的一种微加工技术。激光直写技术可以在计算机控制下根据构图信息对电极材料进行选区处理。如下图中，Gao等人ADDINEN.CITEADDINEN.CITE.DATA[112]利用激光刻蚀技术在ITO-PET膜上对微电机进行构图。借助激光直写（DLW）技术，微米尺寸的电极可以被精确地加工，根据需要特殊的形状进行设计，例如设计为宇宙图案，同心圆，和蚊香等复杂的结构。Shi等人ADDINEN.CITEEndNoteCiteAuthorShi/AuthorYear2019/YearRecNum369/RecNumDisplayTextstyleface=superscript[113]/style/DisplayTextrecordrec-number369/rec-numberforeign-keyskeyapp=ENdb-id=p2950det4dssv6ef9t3v2wwppr509w50eewrtimestamp=1619437511369/key