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微波等离子体技术应用与发展趋势详解.pdf

微波等离子体技术应用与发展趋势详解.pdf

    微波等离子体

    一、微波等离子体反应器要点：

    微波传输：通过波导、同轴线传输，每一种波导、同轴线具有一定的特征

    图微波金刚石沉积二微波等离子体反应器发展小尺寸共振腔表面波长细等离子体大面积体积表面波等离子体三微波等离子体典型反应器单模谐振腔谐振腔尺寸谐振条件有图示阻抗匹配好可以不设置附加匹配激励电场模式单模单一本征模方向图中电场沿轴向状态驻波缺点体积

    阻抗

    等离子体的反应器：本质上是具有一定阻抗的负载。

    微波等离子体工作要求

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