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CN120221484A 晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-06 发布于重庆
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CN120221484A 晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法 （华海清科股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120221484A

    (43)申请公布日2025.06.27

    (21)申请号202510369634.2B24B27/00(2006.01)

    B24B37/04(2012.01)

    (22)申请日2024.12.14

    B24B41/06(2012.01)

    (62)分案原申请数据

    202411843417.42024.12.14

    (71)申请人华海清科股份有限公司

    地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

    道11号

    (72)发明人路新春赵德文杨尧马旭

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