微电子机械器件 MEMS谐振式电场传感器标准化发展研究报告.docxVIP

微电子机械器件MEMS谐振式电场传感器标准化发展报告

Keywords:Micro-ElectromechanicalSystem;MEMSResonantElectric-FieldSensor;IndustryStandard;Standardization;ElectricFieldMeasurement;SensorPerformance;AerospaceInformationResearchInstitute,ChineseAcademyofSciences;RecommendedStandard

摘要

正文1.引言电场传感器是电力系统状态监测、雷电预警、环境电场测量及高电压实验等领域不可或缺的核心器件。传统电场传感器，如基于电光效应的光学电场传感器或基于电容分压原理的电场探头，往往存在体积庞大、功耗高、响应速度受限或无法实现片上集成等瓶颈。近年来，随着微电子机械系统（MEMS）技术的成熟，MEMS谐振式电场传感器应运而生。该类传感器利用微机械谐振结构在电场作用下的谐振频率或振幅变化来感知电场强度，具有极高的灵敏度和分辨率，同时具备微型化、低功耗、可批量制造及易于与集成电路集成的特点，被公认为下一代电场传感器的理想解决方案。尽管MEMS谐振式电场传感器在实验室研究层面已取得丰硕成果，并开始向工程应用转化，但产业