氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法.docxVIP

ICS77.040CCSH17

中华人民共和国国家标准

GB/T47081—2026

氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法

Determinationofiron,aluminumandcalciumofsiliconnitridepowder—

Inductivelycoupledplasmaatomicemissionspectrometry

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T47081—2026

Ⅰ

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本文件起草单位:新疆新特新能材料检测中心有限公司、四川永祥新能源有限公司、山东中临半导体新材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限