ISO 21360-22020 真空技术 - 测量真空泵性能的标准方法 - 第2部分容积式真空泵标准立项发展报告.docx

ISO 21360-22020 真空技术 - 测量真空泵性能的标准方法 - 第2部分容积式真空泵标准立项发展报告.docx

真空技术-测量真空泵性能的标准方法-第2部分:容积式真空泵标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—StandardMethodsforMeasuringVacuum-PumpPerformance—Part2:PositiveDisplacementVacuumPumps

摘要:

本报告旨在对国际标准ISO21360-2:2020《真空技术-测量真空泵性能的标准方法-第2部分:容积式真空泵》的立项背景、技术内容、发展历程及实施意义进行系统阐述。随着半导体、薄膜、新

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