气相沉积气体钢瓶管理规定.docxVIP

气相沉积气体钢瓶管理规定

气相沉积气体钢瓶管理规定

一、采购准入与入库验收、标识建档、分类储存与防倾倒固定、搬运装卸与现场使用操作、日常巡检与定期检验维护、残余气体管理排空与报废退库处置

（1）采购准入与入库验收。气相沉积工艺所使用的气体钢瓶涵盖惰性气体（如高纯氩气、氮气）、反应性气体（如硅烷、氨气、笑气）、易燃气体（如氢气）及助燃气体（如氧气），部分还涉及剧毒或强腐蚀性特种气体，因此所有气体钢瓶必须从具备《气瓶充装许可证》《危险化学品经营许可证》及《特种设备制造许可证》资质的合法供应商处采购或租赁，严禁从无资质单位或个人私自购入气瓶。采购前应核实供应商提供的气体纯度等级、安全技术说明书（M