CN119877107B 蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法 （青岛华芯晶电科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119877107B

(45)授权公告日2025.06.24

(21)申请号202510368827.6

(22)申请日2025.03.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119877107A

(43)申请公布日2025.04.25

(73)专利权人青岛华芯晶电科技有限公司

地址266000山东省青岛市高新区河东路

383号

专利权人同济大学

(72)发明人郑东肖迪徐军高翔刘奔宋百乐赵俊竹

(74)专利代理机构北京铭创聚诚知识产权代理

有限公司13156

专利代理师龙烁

(51)Int.Cl.

C30B33/02(2006.01)

F27D19/00(2006.01)

(56)对比文件

CN109338476A,2019.02.15

CN118308591A,2024.07.09审查员刘重阳

权利要求书4页说明书15页附图2页

(54)发明名称

蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法

(57)摘要

CN119877107B本发明涉及在线监测与控制技术领域，是蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法，具体方法包括：对电源纹波数据与进行特征匹配处理，获取时钟偏移补偿值，通过时钟偏移补偿值将电源纹波数据与温控器数据进行时间