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《锡及锡合金蒸发料》行业标准

编制说明

（草案）

2026年5月

锡及锡合金蒸发料编制说明

1工作简况

1.1任务来源

根据工业和信息化部办公厅《关于印发2026年第二批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》

（工信厅科函〔2026〕192号）的要求，下达了行业标准《锡及锡合金蒸发料》（标准项目号为

2026-0484T-YS）的修订任务，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，标准起草单位为有

研亿金新材料有限公司、杭州士兰集昕微电子有限公司、厦门士兰明镓化合物半导体有限公司、福

建阿石创新材料股份有限公司，完成年限2028年5月。

1.2标准制定的必要性

高纯金属蒸发材料是高端电子信息产业的关键支撑材料之一，在真空条件下利用电子束或热源

加热金属蒸发料，使其从固态转变成气态，形成原子并以直线运动方式运送，最终凝结并沉积在衬

底（硅片）上而形成薄膜。高纯金属蒸发料，以其优异独特的电学、热学和力学性能等广泛应用于

电子薄膜材料的制备，尤其是在硅片背面金属化方面，高纯金属蒸发料成为不