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【ZnO薄膜的研究综述4100字】.pdf

【ZnO薄膜的研究综述4100字】.pdf

    ZnO薄膜的研究综述

    目录

    ZnO薄膜的研究综述0

    1.1ZnO薄膜的制备方法0

    1.1.1原子层沉积法0

    1.1.2多层溶胶-凝胶法1

    1.1.3等离子体辅助反应蒸发法(PARE)2

    1.2ZnO薄膜的特性3

    1.1.1晶体结构4

    1.1.2光电特性5

    1.1.3气敏特性6

    本征氧化锌是一种宽带隙

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