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硅光子产业链全景解构:从材料到封装的国产化突围路径
TOC\o1-3\h\z\u30996一、产业概述与发展背景 3
251511.1硅光子技术的核心优势与应用前景 3
306291.2全球及中国硅光子产业发展现状综述 4
20401二、上游核心材料国产化现状 7
76832.1硅基衬底与绝缘体上硅(SOI)材料供应格局 7
46362.2光刻胶、特种气体及靶材等关键辅料自主化进展 9
12629三、中游设计与制造环节突破 11
222843.1EDA工具与IP核的自主可控能力评估 11
148343.2晶圆
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