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- 2026-07-09 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119596113A
(43)申请公布日2025.03.11
(21)申请号202411819789.3
(22)申请日2024.12.11
(71)申请人无锡芯力为半导体设备有限公司
地址214000江苏省无锡市滨湖区十八湾
路288号湖景科技园19号楼
申请人清华大学无锡应用技术研究院
清华大学
(72)发明人段涛周德金万克山徐宏
(74)专利代理机构无锡智麦知识产权代理事务
所(普通合伙)32492
专利代理师刘咏华
(51)Int.Cl.
G01R31/28(2006.01)
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