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面向半导体晶圆传输的真空机械手高速平稳运行与非线性摩擦控制设计

摘要

随着半导体制造工艺向纳米级演进，晶圆传输系统的定位精度与运行平稳性成为制约生产效率与良率的关键瓶颈。在真空环境下，机械手运动过程中存在的非线性摩擦及未建模动态严重影响了高速轨迹跟踪性能。本课题针对真空机械手在高速运行时的非线性摩擦扰动问题，开展摩擦建模与高精度控制算法研究。首先，基于真空环境特性建立包含Stribeck效应的非线性摩擦模型，准确描述低速爬行与高速粘滑现象。其次，设计基于非线性干扰观测器的摩擦补偿策略，将摩擦力视为外部扰动进行实时估计与前馈补偿，并结合滑模变结构控制实现高速平稳轨迹跟踪。

论文遵循工程化设计思路，从需求分析出发，完成控制系统总体架构与详细算法设计，并通过仿真验证系统性能。全文共分八章，第一章阐述研究背景与意义；第二章介绍摩擦建模与控制理论基础；第三章分析系统功能与非功能需求；第四章进行控制系统总体架构设计；第五章详细阐述非线性摩擦模型构建与DOB控制算法设计；第六章展示仿真平台搭建与核心代码实现；第七章通过仿真实验验证算法有效性；第八章总结全文并展望未来工作。本设计提出的复合控制策略有效抑制了非线性摩擦引起的抖动与跟踪误差，为提升半导体装备国产化水平提供了理论依据与技术支撑。

第一章绪论

1.1研究背景

半导体产业作为现代信息技术的基石，其制造装备的精度与效率直