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Ⅱ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器优化设计、制备与表征测试分析案例
目录
TOC\o1-3\h\u
81761.1小尺寸MEMS压阻式压力传感器的优化与仿真 1
46821.1.1设计优化 1
157371.1.2设计仿真 1
289041.2小尺寸MEMS压阻式压力传感器的版图设计 3
175521.3Ⅱ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器的工艺流程 5
63801.3.1临时阳极键合 7
87861.3.2减薄与腐蚀掩蔽层 7
218601.3.3Sensordie,激光划片 9
26189
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