CN119666872A 一种晶圆检测点螺旋扫描运动装置及方法 (太原理工大学).pdfVIP

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  • 2026-07-10 发布于重庆
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CN119666872A 一种晶圆检测点螺旋扫描运动装置及方法 (太原理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119666872A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411800983.7G06T7/13(2017.01)

G06T5/70(2024.01)

(22)申请日2024.12.09

G06T7/90(2017.01)

(71)申请人太原理工大学

G01N21/88(2006.01)

地址030024山西省太原市万柏林区迎泽

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