CN119647138A 一种基于自适应启发和分层搜索的晶圆提取路径优化方法 （苏州桓旭半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119647138A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411817792.1

(22)申请日2024.12.11

(71)申请人苏州桓旭半导体科技有限公司

地址215300江苏省苏州市昆山市巴城镇

石牌东岳路369号3号厂房

(72)发明人杨运宏周伟赵学灵

(51)Int.Cl.

G06F30/20(2020.01)

G06F17/10(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图6页

(54)发明名称

一种基于自适应启发和分层搜索的晶圆提

取路径优化方法

(57)摘要

本发明适用于自动化设备控