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《电子束曝光机技术要求和试验方法》

国家标准编制说明

（征求意见稿）

国家标准起草工作组

2026年6月

目录

一、工作简况1

（一）任务来源及协作单位1

（二）制定背景1

（三）主要工作过程4

（四）国家标准主要起草人及其所做的工作6

二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据8

（一）标准编制原则和依据8

（二）标准主要技术内容说明8

（三）标准中主要技术内容确定的依据和过程8

三、试验验证情况的说明9

四、与国际、国外同类标准技术内容的对比情况10

五、标准采用国际文件的情况说明10

六、与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系10

七、制修订过程中是否存在重大分歧意见，以及重大分歧意见的处

理过程10

八、标准中涉及专利的情况10

九、国家标准性质的建议及