CN119907149A 一种AlN陶瓷加热器温度均匀性的调整方法 （君原电子科技(海宁)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119907149A

(43)申请公布日2025.04.29

(21)申请号202411792994.5

(22)申请日2024.12.08

(71)申请人君原电子科技（海宁）有限公司

地址314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经

济开发区谷水路306号天通泛半导体

产业园2幢

(72)发明人李君牛奔奔石锗元肖伟

(51)Int.Cl.

H05B3/02(2006.01)

H05B3/03(2006.01)

H05B3/06(2006.01)

H05B3/14(2006.01)

H05B3/20(2006.01)

H01L21/67(2006.01)