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电子束曝光机技术要求和试验方法编制说明.docx

电子束曝光机技术要求和试验方法编制说明.docx

    目录

    一、工作简况 1

    （一）任务来源及协作单位 1

    （二）制定背景 1

    （三）主要工作过程 4

    （四）国家标准主要起草人及其所做的工作 6

    二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据 8

    （一）标准编制原则和依据 8

    （二）标准主要技术内容说明 8

    （三）标准中主要技术内容确定的依据和过程 8

    三、试验验证情况的说明 9

    四、与国际、国外同类标准技术内容的对比情况 10

    五、标准采用国际文件的情况说明 10

    六、与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系 10

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