CN119719568A 基于gan和自适应反馈机制的晶圆膜厚度计算方法及装置 (盖泽精密科技(苏州)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-12 发布于重庆
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CN119719568A 基于gan和自适应反馈机制的晶圆膜厚度计算方法及装置 (盖泽精密科技(苏州)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119719568A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411806076.3G06N3/094(2023.01)

G06N3/0455(2023.01)

(22)申请日2024.12.10

(71)申请人盖泽精密科技(苏州)有限公司

地址215000江苏省苏州市高新区泰山路

128号

(72)发明人周益初任杰卢利军周亭成

陈奇李帅

(74)专利代理机构苏州国诚专利代理有限公司

32293

专利代理师韩凤

(51)Int.Cl.

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