水下流场传感器设计与制造工艺研究.pptxVIP

传感器电极设计

智能仿生与微纳系统研究所

2018.08.27

总体研究目标：

水下流场传感器

1.柔性复合材料传感器流场感知（动压、静压、流速）原理、结构设计和材料选择（性能指标、耐腐蚀）

2.传感器的制造与组装

3.传感器水下测试

近期工作计划

1.水下流场传感器制作

(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试

(2)流场感知传感器工艺设计

(3)仿真优化结构参数，绘制光刻、溅射掩模板

(4)流场传感器制造调试

本周主要进展及存在问题

1.水下流场传感器工艺路线

本周主要进展及存在问题

1.水下流场传感器工艺路线

a:玻璃片上旋涂PDMS，3000r/min30s。

b:50mm厚的PI薄膜平铺在PDMS上，120℃15min固化PDMS。

c:旋涂2.5mm厚的BP212正胶，曝光10s，显影生成直径为50mm的柱子掩膜。

d:RIE刻蚀，氧气流量为100sccm，功率150W，高阀阀位25%，压力值46mTorr，刻蚀5min，用酒精除胶后，形成高度为5mm的圆锥PI微结构。酒精超声清洗。

e:用物理掩膜溅射底部Cr/Au电极。功率150W，时间2+8min。

f:亲水Plasma5min,旋涂G/PVDF溶液，厚度约10mm。120℃固化10min。

g:用物理掩膜溅射上部Cr/Au电极。功率1