水下流场传感器设计与制造工艺研究.pdfVIP

水场传感器

1.柔性复合材料传感器流场感知（动压、静压、流速）原

理、结构设计和材料选择（性能指标、耐腐蚀）

2.传感器的制造与组装

3.传感器水下测试

1.水场传感器制作

(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试

(2)流场感知传感器工艺设计

(3)仿真优化结构参数，绘制光刻、溅射掩模板

(4)流场传感器制造调试

1.水场传感器工艺路线

1.水场传感器工艺路线

a:玻璃片上旋涂PDMS，3000r/min30s。

b:50m厚的PI薄膜平铺在PDMS上，120℃15minPDMS。

c:旋涂2.5m厚的BP212正胶，10s，显影生成直径为50m的柱子掩膜。

d:RIE刻蚀，氧气流量为100sccm，