CN119833421A 大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119833421A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411783604.8

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人孙晶露马砚忠袁明波郁健

陈鲁

(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事

务所(普通合伙)44316

专利代理师张桂平

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01B11/16(2006.01)