原创力文档（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
片进行显影将显影后的晶片放入烘箱内充入惰性气体按预设温度调控规则对烘箱进行温度调控使烘箱内的晶片表面的聚酰亚胺固化在晶片表面通过本申请能够防止固化后聚酰亚胺在后续的光刻腐蚀酸碱清洗退火等处理环节出现鼓包脱落变形等现象从而提高涂有聚酰亚胺的产
（10）申请公布号
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