深紫外KBBF薄片晶体连续波激光倍频器设计实用方案.pdf

深紫外KBBF薄片晶体的连续波激光倍频器设计

一、引言

次谐波的杂散光光谱纯度满足深紫外激光应用的纯度要求光束质量测试采用激光光束质量分析仪测量倍频光的光束质量测得聚焦光斑直径为表明倍频光具有良好的光束质量可适用于高精度加工和光谱分析等场景对比分析将本文设计的薄片晶体连续波激光倍频器与传统块状晶

深紫外（DeepUltraviolet，DUV）激光通常指波长在200-300nm范围内的激光，

凭借其短波长、高光子能量的特性，在光刻技术、生物医疗、材料科学、半导体检

测等领域具有不可替代的应用价值。连续波（ContinuousWave，CW）深紫外激光

因输出