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微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法.pdfVIP

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  • 2026-07-13 发布于河北
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微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法.pdf

    ICS31.080.99

    CCSL59OB

    中华人民共和国国家标准

    GB/TXXXXX—XXXX/1EC62047-10:2011

    微机电系统(MEMS)技术MEMS材料微柱

    压缩试验方法

    Micro-electromechanicalsystemstechnology-Micro-pillarcompressiontestfor

    MEMSmaterials

    (IEC62047-102011,IDT)

    (工作组讨论稿)

    (本草案完成时间：2023.10)

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