微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法.pdfVIP

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  • 2026-07-13 发布于河北
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微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法.pdf

ICS31.080.99

CCSL55GE

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX—XXXX/IEC62047-41:2021

微机电系统(MEMS)技术

射频MEMS环行器和隔离器

Microlctromchanicalsystm(MEMS)tchnology—RadiofrquncyMEMS

circulatorsandisolators

(IEC62047-41:2021,Smiconductordvics-Micro-lctromchanicaldvics-

Part41:RFMEMScirculatorsandisolators,IDT)

(送审稿)

XXXX-XX-XX发布

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