ISOTR 159692021 表面化学分析 - 深度分析 - 溅射深度的测量标准立项发展报告.docx

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表面化学分析-深度分析-溅射深度的测量标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Surfacechemicalanalysis—Depthprofiling—Measurementofsputtereddepth

摘要：

本报告针对国际标准化组织（ISO）发布的《表面化学分析-深度分析-溅射深度的测量》（ISO/TR15969:2021）技术报告（TechnicalReport）展开了全面的立项与发展分析。表面化学分析技术在材料科学、半导体工业、失效分析等领域具有不可替代的核心地位，其中深度分析（De