CN119987438A 复合铜箔厚度控制设备的控制方法 （江西省深耕铜箔科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119987438A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202411993783.8

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人江西省深耕铜箔科技有限公司

地址344000江西省抚州市抚州高新技术

产业开发区德科产业园以西纬五路以北

申请人深圳诺好有方工业智能有限公司

(72)发明人李衔洋

(74)专利代理机构深圳国新南方知识产权代理

有限公司44374

专利代理师张曾明

(51)Int.Cl.

G05D5/03(2006.01)

C25D1/04(2006.01)

G06F30/23(2020.01)

G06F30/28(2020.01)

G06F111/10(2020.01)

G06F113/08(2020.01)

G06F119/14(2020.01)

权利要求书3页说明书9页附图1页

(54)发明名称

复合铜箔厚度控制设备的控制方法

(57)摘要

CN119987438A本申请提供复合铜箔厚度控制设备的控制方法，包括：根据沉积速率变化规律图计算各异常浓度群在未来时刻的沉积厚度，得到异常区域的铜层厚度分布，将异常区域的铜层厚度分布与正常区域的厚度分布进行对比，计算异常区域的厚度偏差值；针对厚度偏差值，采用偏差补偿