CN119230388A 一种n型氧化镓单晶衬底的同质外延片及其制备方法 (中国电子科技集团公司第四十六研究所).pdfVIP

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  • 2026-07-14 发布于重庆
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CN119230388A 一种n型氧化镓单晶衬底的同质外延片及其制备方法 (中国电子科技集团公司第四十六研究所).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119230388A

(43)申请公布日2024.12.31

(21)申请号202411774671.3

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人中国电子科技集团公司第四十六研

究所

地址300220天津市河西区洞庭路26号

(72)发明人董增印王英民张嵩张力江

程红娟李贺王双

(74)专利代理机构石家庄国为知识产权事务所

13120

专利代理师刘少卿

(51)Int.Cl.

H01L21/02(2006.01)

H01L29/24(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

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