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CN119237912A 一种能够对芯片晶圆精准定位的切割系统及其切割方法 （深圳爱仕特科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-14 发布于重庆
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CN119237912A 一种能够对芯片晶圆精准定位的切割系统及其切割方法 （深圳爱仕特科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119237912A

    (43)申请公布日2025.01.03

    (21)申请号202411774368.3H01L21/67(2006.01)

    H01L21/78(2006.01)

    (22)申请日2024.12.05

    G01B11/00(2006.01)

    (71)申请人深圳爱仕特科技有限公司G01B11/14(2006.01)

    地址518000广东省深圳市坪山区坑梓街

    B28D5/00(200

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