CN119986338A 一种面向集成电路制造的缺陷检测方法及系统 （黑龙江青化民爆器材有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119986338A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202510469588.3

(22)申请日2025.04.15

(71)申请人黑龙江青化民爆器材有限公司

地址151600黑龙江省绥化市青冈县青冈

镇青安路南一公里处

(72)发明人任尚勇黄宝金张柏国谢奇

(74)专利代理机构北京工匠慧信知识产权代理事务所(普通合伙)16227

专利代理师于婷婷

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

G01B11/00(2006.01)

G01B11/24(2006.01)

G01B11/30(2006.01)

G01N23/2251(2018.01)

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

B07C5/34(2006.01)

B07C5/02(2006.01)

B07B1/28(2006.01)

权利要求书4页说明书21页附图2页

(54)发明名称

一种面向集成电路制造的缺陷检测方法及

系统

(57)摘要

CN119986338A本申请提供一种面向集成电路制造的缺陷检测方法及系统。其中，在集成电路封装阶段，通过气动分选装置将封装后芯片分为满足预设