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等离子体浸没离子注入表面改性涂层考核试卷

单项选择题（共30题，每题1分）

1.等离子体浸没离子注入技术中，下列哪种气体通常不作为工作气体？

A.Ar

B.N2

C.H2

D.CO2

2.等离子体浸没离子注入技术中，哪个参数主要影响注入离子的能量？

A.注入时间

B.注入电流

C.基板温度

D.等离子体密度

3.在等离子体浸没离子注入过程中，下列哪种材料常用于基板加热？

A.石英

B.硅

C.陶瓷

D.金属

4.等离子体浸没离子注入技术中，哪个参数主要影响注入离子的均匀性？

A.注入速度

B.等离子体温度

C.基板面积

D.等离子体密度

5.等离子体浸没离子注入技术中，哪个参数主要影响注入离子