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CN120013929B 一种基于one-shot的晶圆缺陷检测方法 （国科大杭州高等研究院）.docxVIP

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  • 2026-07-15 发布于山西
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CN120013929B 一种基于one-shot的晶圆缺陷检测方法 （国科大杭州高等研究院）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN120013929B

    (45)授权公告日2025.06.24

    (21)申请号202510480864.6

    (22)申请日2025.04.17

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN120013929A

    (43)申请公布日2025.05.16

    (73)专利权人国科大杭州高等研究院

    地址310024浙江省杭州市西湖区象山支

    弄1号

    (72)发明人郭祥吉明名徐进昶杨挺凯

    (74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213

    专利代理师程苾

    (51)Int.Cl.

    G

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