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集成电路晶圆生产项目施工方案.docx

集成电路晶圆生产项目施工方案.docx

    集成电路晶圆生产项目施工方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、工程概况 4

    二、项目目标 6

    三、施工范围 7

    四、场地条件 12

    五、施工组织部署 13

    六、施工准备 16

    七、临时设施规划 20

    八、基础施工方案 23

    九、洁净厂房施工 29

    十、机电安装方案 34

    十一、工艺管道施工 37

    十二、给排水施工 39

    十三、暖通空调施工 44

    十四、弱电系统施工 46

    十五、纯水系统施工 51

    十六、气体供应系统施工 52

    十七、废气处理施工 59

    十八、消防系统施工 62

    十九、质量控制措施

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