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毕业设计（论文）

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毕业设计（论文）报告

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lpcvd研究文献合集

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lpcvd研究文献合集

摘要：随着全球气候变化和城市化进程的加速，大气污染问题日益严重。光化学烟雾（PhotochemicalSmog，简称Psmog）是大气污染的一种形式，主要由氮氧化物（NOx）和挥发性有机化合物（VOCs）在阳光照射下发生光化学反应生成。LPCVD（LowPressureChemicalVaporDeposition）技术是一种重要的薄膜制备技术，广泛应用于半导体、光伏、显示等领域。本文对LPCVD技术在Psmog研究中的应用进行了综述，分析了不同LPCVD技术在Psmog检测、模拟和治理等方面的研究进展，并对未来研究方向进行了展望。

近年来，随着工业化和城市化的快速发展，大气污染问题已成为全球性环境问题。光化学烟雾作为一种大气污染形式，其危害性已得到广泛关注。光化学烟雾主要由氮氧化物（NOx）和挥发性有机化合物（VOCs）在阳光照射下发生光化学反应生成，具有毒性、刺激性、腐蚀性和氧化性等特点。为了解决光化学烟雾问题，研究者们开展了大量的研究工作。其中，LPCVD（LowPressureChemicalVaporDeposition）技术作为一种重要