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碳化硅功率器件生产技术方案.docx

碳化硅功率器件生产技术方案.docx

    碳化硅功率器件生产技术方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 4

    二、产品定义 6

    三、原料与辅材 8

    四、核心设备配置 10

    五、工艺流程设计 12

    六、晶圆制备 16

    七、外延生长 18

    八、刻蚀工艺 20

    九、离子注入 21

    十、退火工艺 25

    十一、薄膜沉积 27

    十二、金属化工艺 30

    十三、器件结构设计 32

    十四、封装工艺 36

    十五、测试与分选 41

    十六、质量控制 43

    十七、洁净环境要求 47

    十八、产线布局 50

    十九、可靠性验证 52

    二十、安全管理 54

    二

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