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半导体洁净车间生产技术方案.docx

半导体洁净车间生产技术方案.docx

    半导体洁净车间生产技术方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 4

    二、建设目标 5

    三、车间功能定位 6

    四、工艺流程规划 8

    五、洁净等级划分 10

    六、空间布局设计 13

    七、人流物流组织 16

    八、设备选型原则 19

    九、纯水供应系统 21

    十、废气处理系统 24

    十一、废液收集系统 26

    十二、温湿度控制方案 28

    十三、压差控制方案 30

    十四、静电防护方案 32

    十五、污染控制措施 36

    十六、材料选型要求 38

    十七、自动化控制方案 41

    十八、运行管理体系 44

    十九、人员

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