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- 2026-07-16 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119601460A
(43)申请公布日2025.03.11
(21)申请号202411790970.6
(22)申请日2024.12.05
(71)申请人上海清华国际创新中心
地址200062上海市普陀区同普路602号2
号楼1楼
申请人清华大学
(72)发明人周友华张顺德吴华强
(74)专利代理机构北京励诚知识产权代理有限
公司11647
专利代理师刘雅婷
(51)Int.Cl.
H01L21/033(2006.01)
H01L21/308(2006.01)
权利要求书2页说明书9页
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