CN119601460A 自对准双重成像技术的实现方法、控制器及芯片生产系统 (上海清华国际创新中心).pdfVIP

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  • 2026-07-16 发布于重庆
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CN119601460A 自对准双重成像技术的实现方法、控制器及芯片生产系统 (上海清华国际创新中心).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601460A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411790970.6

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人上海清华国际创新中心

地址200062上海市普陀区同普路602号2

号楼1楼

申请人清华大学

(72)发明人周友华张顺德吴华强

(74)专利代理机构北京励诚知识产权代理有限

公司11647

专利代理师刘雅婷

(51)Int.Cl.

H01L21/033(2006.01)

H01L21/308(2006.01)

权利要求书2页说明书9页

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